| 晶圆检测仪，多晶硅缺陷分析仪，太阳能硅板检测仪，太阳能光伏单晶硅片缺陷分析 |
| 一：蔡康晶圆检测仪，多晶硅缺陷分析仪，太阳能硅板检测仪DJM-200C概述和硅片缺陷检测方法和应用范围： |
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（一）光伏硅片质量检测中，有很多项目，比如：破片、缺角、孔洞和翘曲等等。为什么会有这些检测项目，有些项目很容易理解，比如：破片、缺角等不仅会影响卖相，还会造成后续电池片生产的问题，甚至影响转换效率。但孔洞，尤其是很小很小的孔洞，似乎没什么大不了。其实不然，新的研究表明，小小的孔会造成大大的问题。就好像千里之堤，毁于蚁穴。 1.孔洞：大量存在，3～10um，人眼不易发现。必须用背光源。 孔洞的危害：经研究发现，硅晶片上孔洞会造成加工成电池片的短路，降低电池片的转换效率；如果因为硅片上的孔洞形成的短路块刚好落在栅线上，就会造成大面积的短路，加大电池片的漏电流，影响转换效率。所以必须检测孔洞，一般人眼能分辨0.3mm以上的孔洞，0.003～0.01mm的孔洞只能借助与光学的检测手段来实现。检测时需采用高亮度的白色背光源，穿透力强的光经过孔洞后，部分频率的分量会使相机感光，形成蓝绿色的成像。相机的像素分辨率需要做得很高，比如一个像素等于0.005mm，这样有机会捕捉到3um～10um孔透过的光，并由软件识别。 2.硅片翘曲或弯曲：不能忽视。硅片翘曲不仅使得做成电池片后尺寸不合乎要求，而且还会造成断栅。 研究表明：因为硅片翘曲，做成电池片后，通过EL检测，发现里面有丝状裂纹或花斑，但做成模组后，花斑情况有改善。分析表明，因为电池片翘曲（根源上是硅片翘曲），在丝印时会造成印刷不均匀，形成断栅。 硅片的翘曲需要采用3D的检测方法，具体表征硅片翘曲的指标有TTV、MTV等等。检测的方法可以采用将结构光（线激光）投射到硅片上，用相机进行拍照；通过软件分析光线成像的几何特征，可以计算出TTV、MTV等指标，跟标准值进行比对，可以得出硅片翘曲是否在可以接受的范围。 以上两点，是新的研究发现。如果检测不到位，“后果很严重”。电池片厂家在来料检测上，不可不注意。 产品介绍： 蔡康晶圆硅片缺陷观测仪（DJM-200C），于对硅片的缺陷进行观察，效果非常明显，包括肉眼无法观测的位错、层错、划痕、崩边等。 实时对图像进行分析、测量和统计，提高传统光学仪器的使用内涵。配合投影仪和计算机等显示、存储设备，能更好的观测和保存研究结果； 硅片缺陷观测仪-产品特点 ■适用于对硅片的缺陷观察效果，非常明显，包括肉眼无法观测的位错、层错、划痕、崩边等； ■使硅片缺陷观察工作简单化，准确化，同时降低此项工作强度； ■实时对图像进行分析、测量和统计，提高传统光学仪器的使用内涵。配合投影仪和计算机等显示、存储设备，能更好的观测和保存研究结果； ■使用 数字CCD摄像机 感光芯片，具有体积小，技术先进，像素较高，成像清晰、线条细腻、色彩丰富； ■传输接口为 USB2.0高速接口，软件模块化设计； ■有效分辨率为 1000万像素； ■所配软件能兼容 windows7/8/10 操作系统。 |
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（三）蔡康太阳能光伏单晶硅片缺陷分析仪技术介绍和仪器组成
一、大平台太阳能硅片缺陷分析金相显微镜仪器的主要用途和特点 |
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太阳能光伏单晶硅片缺陷分析仪DJM-200C
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